维氏硬度试验法为英国的R.Smith和G..Sandland在1925年所发表，于1930年始发现其有利于测试氮化钢的表面硬化层之硬度，因此才渐渐广泛使用于工业界。此法包括布氏及洛氏试验之特征，安装有计测显微镜，量取压痕对角线长度，可测至1μm，准时又方便。表示硬度时，把硬度记号HV。